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Filmetrics 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀

簡(jiǎn)要描述:Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng),可以快速輕松地測(cè)量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供快速的厚度測(cè)量,速度達(dá)到每秒兩點(diǎn)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):F54-XYT-300
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-06-24
  • 訪  問(wèn)  量:1540
產(chǎn)品詳情

Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀




Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品介紹:

Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng),可以快速輕松地測(cè)量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供快速的厚度測(cè)量,速度達(dá)到每秒兩點(diǎn)。



Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢(shì):

  • 自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果;

  • 可測(cè)樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量;

  • 測(cè)繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn),方便用戶從不同的角度檢視;



Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀測(cè)量原理:

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射,由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。



Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品應(yīng)用與膜層范例:

半導(dǎo)體膜層

顯示技術(shù)

消費(fèi)電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產(chǎn)品/電路板

介電層

ITO和TCOs

射頻識(shí)別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽(yáng)能電池

醫(yī)學(xué)器械

微機(jī)電系統(tǒng)

PVD和CVD

鋁制外殼陽(yáng)極膜

硅橡膠



Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品常見(jiàn)工業(yè)應(yīng)用:

半導(dǎo)體制造

LCD液晶顯示器

光學(xué)鍍層

MEMS微機(jī)電系統(tǒng)

光刻膠

聚酰亞胺

硬涂層

光刻膠

氧化物/氮化物/SOI

ITO透明導(dǎo)電膜

抗反射涂層

硅系膜層

晶圓背面研磨






Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品參數(shù):

波長(zhǎng)范圍:

190nm-1700nm

光源:

鎢鹵素?zé)?、氘?/span>

測(cè)量nk厚度要求1*:

50nm

測(cè)量精度2:

0.02nm

準(zhǔn)確度*:取較大者

1nm或0.2%

穩(wěn)定性3:

0.05nm

樣品大小:

≤直徑300毫米

速度(含有真空平臺(tái)):

5個(gè)點(diǎn)-8秒

25個(gè)點(diǎn)-21秒

56個(gè)點(diǎn)-43秒


光斑大小

標(biāo)準(zhǔn)500 微米孔徑

選配250 微米孔徑

選配100 微米孔徑

5X物鏡

100μm

50μm

20μm

10X物鏡

50μm

25μm

10μm

15X物鏡

33μm

17μm

7μm

50X物鏡

10μm

5μm

2μm



Filmetrics F54-XYT-300 自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀測(cè)量圖:




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