Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品介紹：

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測量儀產(chǎn)品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業(yè)計算機，以及可以升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀特點優(yōu)勢：

• 自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實時獲得結果；

• 可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；

• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標準分析軟件；

• 凹槽自動檢測

• 自動基準確定

• 全封閉測量平臺

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品測量原理：

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品應用：

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品參數(shù)：

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀測量圖：