
KLA 白光共聚焦顯微鏡
簡要描述:KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡基于ZDot技術(shù)而來。Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡可以對大部分材料和結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像分析,從光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介質(zhì)。KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡使用模塊化設(shè)計理念,為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項來滿足各種不同的測量需求,所有硬件安裝和操作都簡單易用。
產(chǎn)品型號:Zeta-20
廠商性質(zhì):代理商
更新時間:2025-06-25
訪 問 量:3537
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品介紹:
KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡基于ZDot技術(shù)而來。Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡可以對大部分材料和結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像分析,從光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介質(zhì)。KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡使用模塊化設(shè)計理念,為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項來滿足各種不同的測量需求,所有硬件安裝和操作都簡單易用。
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn):
Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡提供多種光學(xué)測試技術(shù),以滿足用戶各種不同領(lǐng)域的測試需求。
ZDotZ點(diǎn)陣三維成像技術(shù)是Zeta所有系列產(chǎn)品的標(biāo)配技術(shù),Z點(diǎn)陣的明暗場照明方案結(jié)合不同物鏡幫助客戶測量“困難"的表面。
ZIC干涉反襯成像技術(shù),實(shí)現(xiàn)納米級粗糙度表面的成像及分析。
ZSI白光差分干涉技術(shù),垂直方向分辨率可達(dá)埃級。
ZI 白光干涉技術(shù),大視場下納米級高度的理想測量技術(shù)。
ZFT反射光譜膜厚分析技術(shù),集成寬頻反射光譜分析儀,可測量ULA+ 2et-20薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢:
重復(fù)性和再現(xiàn)性
接觸式測量,適用于多種材料
測量軟材料的微力控制
梯形失真校正可大幅度減少側(cè)視圖造成的失真
弧形校正補(bǔ)償探針的弧形運(yùn)動
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品測量原理:
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡的原理是通過共聚焦原理實(shí)現(xiàn)樣品的高分辨率、高對比度的光學(xué)切片能力。它結(jié)合了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡和激光共聚焦顯微鏡的特點(diǎn),利用寬譜白光作為光源,通過空間濾波機(jī)制消除離焦光干擾,從而獲得高精度的三維圖像。
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡主要應(yīng)用:
臺階高度 | 紋理 |
外形 | 應(yīng)力 |
薄膜厚度 | 缺陷檢測 |
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品參數(shù):
ZDOT | ZI | ZIC | ZSI | ZFT | |
粗糙度:> 40nm | ● | ||||
粗糙度:<40nm | ● | ||||
大視場、Z方向高分辨率 | ● | ||||
15nm-25mm臺階高度 | ● | ||||
5nm-100µm臺階高度 | ● | ||||
<10nm 臺階高度 | ● | ||||
缺陷:尺寸 <1µm,高度 <75nm | ● | ● | ● | ||
缺陷:尺寸 >1µm,高度 >75nm | ● | ||||
30nm<薄膜和厚度 <15µm | |||||
薄膜厚度 >15µm | ● |
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡測量圖:
自動缺陷檢查
臺階高度